參(can)數 | 玻(bo)璃(li)晶圓片規(gui)格 |
材(cai)料 | 玻璃、石(shi)英等 |
形(xing)狀(zhuang) | 圓(yuan)形 |
外(wai)徑(jing) | 3”——12”寸等 |
外徑尺寸(cun) | 76.2mm——300mm |
外徑公(gong)差 | ±0.05mm |
厚(hou)度 | 0.1mm——2.0mm |
最小厚度 | 0.1mm |
TTV | <3μm |
BOW | <20μm |
WARP | <30μm |
外觀(guan)質量 | 20/10 |
粗(cu)糙(cao)度 | Ra<5nm |
倒邊 | 45°,C0.2+/-0.1mm |
* 備(bei)注(zhu):可以根(gen)據(ju)客戶(hu)需(xu)求(qiu)定製 |